Zu den OCT- Anlagen gibt es verschiedenes Zubehör, wie das hier abgebildete System für die Seitenwandvermessung am OCT Messkopf der KPA-Anlage mit einer automatischen Lade- und Entladestation sowie mit einer Position der Kalibrierung der Messung.

Wird ein System ergänzt (zum Beispiel mit dem Seitenwandmodul) so wird die Anlage derart erweitert, dass das Zusatzmodul vom Messkopf automatisch geladen und wieder zurückgestellt werden kann.

Es werden verschiedene Module bereitgestellt:

Seitenwandmodul
Dieses Modul dient zur Messung der Dicke von vertikal stehenden Ebenen.

Risserkennungsmodul
Dieses Modul unterscheidet zwischen einem Kratzer und einem Riss.

Gassperrschichtmodul
Dieses Modul eignet sich, um in den vertikalen Wänden die Schichten zu vermessen.

Positionsmodul
Mit diesem Modul erkennt man die räumliche Orientierung eines Bauteils (alle Richtungen).

Flächenmessungsmodul
Dieses Modul erlaubt die Schichtdickenmessung auf einer Folie im Abstand von wenigen cm bis zu einer Maschinenbreite von 45 cm.

Siegelnahtmodul
Dieses Modul prüft eine Siegelnaht mit einer geometrischen Auflösung von 10 Mikrometer (oder besser). Das Modul eignet sich auch zur Oberflächenprüfung von Siegelzonen.

Optische Bank Modul
In der optischen Bank sind die Lichtquelle und das Interferometer montiert. Der Wechsel einer Lichtquelle erfordert auch die Anpassung der optischen Bauelemente.